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半導(dǎo)體摻雜工藝需要檢測(cè)哪些氣體


2024.01.03　瀏覽量：158 次
半導(dǎo)體摻雜技術(shù)是半導(dǎo)體器件的核心技術(shù)之一，摻雜是指將一定數(shù)量的雜質(zhì)摻入到半導(dǎo)體材料的工藝，能夠改變半導(dǎo)體材料的電學(xué)特性，優(yōu)化半導(dǎo)體芯片的性能。摻雜的方式主要有擴(kuò)散和離子注入，兩種方法在集成電路和分立器件中都會(huì)用到，為了保證生產(chǎn)安全，半導(dǎo)體摻雜工藝用氣體檢測(cè)儀的使用非常重要，下面來看看半導(dǎo)體摻雜工藝需要檢測(cè)哪些氣體？

利用擴(kuò)散技術(shù)實(shí)現(xiàn)摻雜的工藝過程中危險(xiǎn)氣體主要有硼乙烷、硒化氫、三氟化氯、氫氣、砷化氫等氣體，硼乙烷是一種毒性很強(qiáng)的氣體，輕度中毒表現(xiàn)為呼吸道和眼刺激，嚴(yán)重地會(huì)導(dǎo)致窒息、死亡等。三氟化氯是一種有毒有腐蝕的氣體，吸入后會(huì)引起后喉痙攣、肺炎、肺水腫等，還會(huì)與稀有氣體反應(yīng)。砷化氫的毒性也很強(qiáng)，長(zhǎng)期接觸會(huì)導(dǎo)致慢性中毒，表現(xiàn)為腹痛、嘔吐等癥狀，嚴(yán)重地還會(huì)導(dǎo)致神經(jīng)系統(tǒng)、腎臟等衰竭。氫氣、砷化氫屬于可燃?xì)怏w，達(dá)到爆炸下限時(shí)與空氣混合形成爆炸混合物，遇明火和高熱就會(huì)引起燃燒爆炸。
 
利用離子注入技術(shù)實(shí)現(xiàn)摻雜的工藝過程中除需要檢測(cè)硼乙烷、砷化氫外，還需要檢測(cè)磷化氫、三氟化硼等氣體，長(zhǎng)期接觸磷化氫會(huì)出現(xiàn)惡心、嘔吐、昏迷等癥狀，嚴(yán)重地還會(huì)直接致死。長(zhǎng)期接觸三氟化硼會(huì)導(dǎo)致眼睛、呼吸道、皮膚等部位的刺激，嚴(yán)重的情況還會(huì)導(dǎo)致氣道收縮。
 
由此可見，摻雜過程中涉及的有害氣體和可燃?xì)怏w對(duì)人體和環(huán)境的的危害都非常大，需要安裝氣體檢測(cè)儀對(duì)目標(biāo)氣體進(jìn)行檢測(cè)，這里推薦西安贏潤(rùn)環(huán)保公司生產(chǎn)銷售的ERUN-PG71S6便攜式多參數(shù)氣體檢測(cè)儀，此款儀器能夠同時(shí)檢測(cè)1-6種氣體，泵吸式設(shè)計(jì)，響應(yīng)速度快，多種報(bào)警模式可設(shè)置，報(bào)警提示明顯。
 ERUN-PG71S6便攜式多參數(shù)氣體檢測(cè)儀
半導(dǎo)體摻雜工藝用氣體檢測(cè)儀技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)：ERUN-PG71S6
檢測(cè)氣體：硼乙烷、砷化氫、三氟化氯、氫氣、磷化氫等
檢測(cè)精度：≤±2%F.S  （更高精度可訂制）
防護(hù)等級(jí)：IP67
防爆類型：本質(zhì)安全型ExiaⅡCT4Ga
 
上述即為半導(dǎo)體摻雜需要檢測(cè)哪些氣體的相關(guān)介紹，熱擴(kuò)散和離子注入技術(shù)是半導(dǎo)體摻雜工藝的兩種方式，在進(jìn)行摻雜工藝時(shí)，往往會(huì)涉及很多種氣體，這些氣體對(duì)環(huán)境和人體健康都有不同程度的損害，為保護(hù)環(huán)境和人身安全，定期使用半導(dǎo)體摻雜工藝用氣體檢測(cè)儀，確保環(huán)境中的氣體濃度處于安全范圍內(nèi)。