半導(dǎo)體摻雜工藝需要檢測哪些氣體

2024.01.03　瀏覽量：507 次

半導(dǎo)體摻雜技術(shù)是半導(dǎo)體器件的核心技術(shù)之一，摻雜是指將一定數(shù)量的雜質(zhì)摻入到半導(dǎo)體材料的工藝，能夠改變半導(dǎo)體材料的電學(xué)特性，優(yōu)化半導(dǎo)體芯片的性能。摻雜的方式主要有擴散和離子注入，兩種方法在集成電路和分立器件中都會用到，為了保證生產(chǎn)安全，半導(dǎo)體摻雜工藝用氣體檢測儀的使用非常重要，下面來看看半導(dǎo)體摻雜工藝需要檢測哪些氣體？

利用擴散技術(shù)實現(xiàn)摻雜的工藝過程中危險氣體主要有硼乙烷、硒化氫、三氟化氯、氫氣、砷化氫等氣體，硼乙烷是一種毒性很強的氣體，輕度中毒表現(xiàn)為呼吸道和眼刺激，嚴重地會導(dǎo)致窒息、死亡等。三氟化氯是一種有毒有腐蝕的氣體，吸入后會引起后喉痙攣、肺炎、肺水腫等，還會與稀有氣體反應(yīng)。砷化氫的毒性也很強，長期接觸會導(dǎo)致慢性中毒，表現(xiàn)為腹痛、嘔吐等癥狀，嚴重地還會導(dǎo)致神經(jīng)系統(tǒng)、腎臟等衰竭。氫氣、砷化氫屬于可燃氣體，達到爆炸下限時與空氣混合形成爆炸混合物，遇明火和高熱就會引起燃燒爆炸。

利用離子注入技術(shù)實現(xiàn)摻雜的工藝過程中除需要檢測硼乙烷、砷化氫外，還需要檢測磷化氫、三氟化硼等氣體，長期接觸磷化氫會出現(xiàn)惡心、嘔吐、昏迷等癥狀，嚴重地還會直接致死。長期接觸三氟化硼會導(dǎo)致眼睛、呼吸道、皮膚等部位的刺激，嚴重的情況還會導(dǎo)致氣道收縮。

由此可見，摻雜過程中涉及的有害氣體和可燃氣體對人體和環(huán)境的的危害都非常大，需要安裝氣體檢測儀對目標(biāo)氣體進行檢測，這里推薦西安贏潤環(huán)保公司生產(chǎn)銷售的ERUN-PG71S6便攜式多參數(shù)氣體檢測儀，此款儀器能夠同時檢測1-6種氣體，泵吸式設(shè)計，響應(yīng)速度快，多種報警模式可設(shè)置，報警提示明顯。

半導(dǎo)體摻雜工藝用氣體檢測儀技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號：ERUN-PG71S6
檢測氣體：硼乙烷、砷化氫、三氟化氯、氫氣、磷化氫等
檢測精度：≤±2%F.S （更高精度可訂制）
防護等級：IP67
防爆類型：本質(zhì)安全型ExiaⅡCT4Ga

上述即為半導(dǎo)體摻雜需要檢測哪些氣體的相關(guān)介紹，熱擴散和離子注入技術(shù)是半導(dǎo)體摻雜工藝的兩種方式，在進行摻雜工藝時，往往會涉及很多種氣體，這些氣體對環(huán)境和人體健康都有不同程度的損害，為保護環(huán)境和人身安全，定期使用半導(dǎo)體摻雜工藝用氣體檢測儀，確保環(huán)境中的氣體濃度處于安全范圍內(nèi)。